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纸版 2023半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷 图书 T43493.1 无损检测识别判据第1部分：缺陷分类

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无损检测识别判据 43493.1 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷 第1部分：缺陷分类 2023半导体器件

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2023 光致发光检测方法 光学检测方法 缺陷 缺陷分类 43493.1 无损检测识别判据 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷

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