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基于SOI硅片 2016硅基MEMS制造技术 32814 MEMS工艺规范

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基于COMSOL 现货 Multiphysics MEMS建模及应用张玉宝 社 李强编冶金工业出版 正版

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2017 微机电系统 MEMS 基于光学干涉 34900 技术  MEMS微结构残余应变测量方法

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T34900 基于光学干涉 2017微机电系统 技术 MEMS微结构残余应变测量方法 MEMS

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2017 微机电系统 MEMS 基于光学干涉 34893 技术 MEMS微结构面内长度测量方法

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2017 微机电系统 MEMS 基于光学干涉 34894 技术 MEMS微结构应变梯度测量方法

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2017 微机电系统 MEMS 基于拉曼光谱法 34899 技术 微结构表面应力测试方法

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T34899 基于拉曼光谱法 2017微机电系统 技术 微结构表面应力测试方法 MEMS

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2017微机电系统 34893 MEMS 技术 MEMS微结构面内长度测量方法 基于光学干涉

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2017微机电系统 34894 MEMS 技术 MEMS微结构应变梯度测量方法 基于光学干涉

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基于SOI硅片 32814 硅基MEMS制造技术 MEMS工艺规范 2016

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2017 34900 微机电系统 MEMS 基于光学干涉 技术

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